MPCVD 单晶金刚石 · 装备 100% 自研

在原子层面
生长极致金刚石

芯蕾材料专注微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)单晶金刚石的研发与量产,核心装备自主设计制造,为珠宝、热管理、光学与半导体领域提供高性能金刚石材料。

6 kW+单腔微波功率密度
>15 mm单晶毛坯尺寸
>2000 W/mK室温热导率
100%核心装备自研
产品中心

四条产品线,覆盖从消费品到尖端工业

从珠宝级培育钻石到热管理级晶圆,统一由自研 MPCVD 平台生长,品质可控、批次稳定。

核心技术

自研 MPCVD 装备与工艺平台

掌握微波腔体设计、等离子体控制与籽晶工艺三大核心环节,实现从装备到材料的全链路自主。

高功率微波腔体

自主设计的环形谐振腔,微波耦合效率与等离子体稳定性行业领先,支持 6 kW 级连续运行。

等离子体精密控制

闭环温控与气流配比系统,生长温度波动控制在 ±1 ℃ 以内,保障晶体低位错密度生长。

大尺寸籽晶工艺

成熟的马赛克拼接与外延放大工艺,突破单晶尺寸瓶颈,向 2 英寸级晶圆稳定迭代。

01

籽晶预处理

精选 HPHT / 自产籽晶,机械化学抛光至原子级平整。

02

真空装腔

真空腔体抽至 10⁻⁶ Torr,排除氮等杂质来源。

03

等离子体点火

微波激发 CH₄/H₂ 混合气体,形成稳定碳等离子体。

04

原子层生长

sp³ 碳原子逐层沉积,速率与纯度全程在线监测。

05

检测分级

拉曼、FTIR 与缺陷检测,按应用场景分级出货。

应用领域

金刚石的无限可能

珠宝

培育钻石

白钻与粉、黄、蓝彩钻全系供应,Type IIa 纯净度,可切磨 3 克拉以上裸钻。

热管理

散热衬底

热导率超铜 5 倍,用于 GaN 射频器件、激光器与高功率芯片封装。

光学

光学窗口

紫外至远红外全波段高透过,硬度与化学惰性兼备。

半导体

功率器件

超宽禁带 5.47 eV,耐高压耐高温,下一代功率电子的理想衬底。

关于芯蕾

装备自主,方能材料自由

芯蕾材料位于郑州航空港经济综合实验区,坚持 MPCVD 装备 100% 自主设计制造——从谐振腔几何到生长工艺参数全部掌握在自己手中。

我们相信,真正的材料公司必须同时是装备公司。自研设备让研发闭环更短,工艺改动当天即可验证,这是芯蕾材料迭代速度的根本来源。

2019公司成立,首台自研 MPCVD 设备点火成功
2021珠宝级单晶实现公斤级年产,彩钻工艺打通
2023热管理级大尺寸晶圆通过头部客户验证
2025第六代设备平台发布,单腔产能提升 3 倍
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